晶圓研磨液過(guò)濾要求是什么?當然是精度越高越好。但是精度高了會(huì )不會(huì )有別的問(wèn)題?
這個(gè)答案是肯定的。
晶圓研磨液過(guò)濾要求高了以后,對濾芯的要求就變高了。
普通的濾芯難以滿(mǎn)足既要提高精度,還要流量不影響,還要不容易堵塞。
這個(gè)就得用駿海制造的沉降式離心機了。
沒(méi)有濾芯,不堵塞,靠離心力沉降。
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